光刻板是在半导体制造和微电子器件制造中常用的关键工具。它的主要用途是通过光刻技术在半导体材料上定义微细的图案和结构......

半导体材料是一类电性质介于导体（如金属）和绝缘体之间的材料。半导体的电导率介于导体和绝缘体之间......

MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems）是一种集成了微型电子器件和机械器件的技术。MEMS加工是指制造这些微型器件的过程......